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真空鍍膜的工作原理是薄膜在高溫下蒸發(fā)并在工件表面結(jié)晶。因?yàn)榭諝鈺φ舭l(fā)的膜分子產(chǎn)生阻力并引起碰撞,使晶體變得粗糙和無光澤,所以晶體只有在高真空下才能精細(xì)和明亮。如果真空度不高,晶體就會失去光澤,結(jié)合力很差。早期真空鍍膜依賴于蒸發(fā)體的自然散射,工作效率低,光澤度差?,F(xiàn)在,除了中頻磁控濺射靶材外,薄膜的蒸發(fā)分子在電場的作用下被加速轟擊靶材,濺起大量靶材原子,中性靶材原子(或分子)沉積在襯底上形成薄膜,解決了以往自然蒸發(fā)無法處理的各種薄膜,如鈦鍍層、鋯鍍層等。
如果設(shè)備因頻率高、電流大而需要制冷水。當(dāng)電流在導(dǎo)體中流動時(shí),會產(chǎn)生集膚效應(yīng),電荷會積聚在導(dǎo)電性的表面積內(nèi),從而使導(dǎo)電性發(fā)熱。因此,以介孔管作為導(dǎo)體,在中間加入水來制冷。
討論了磁控濺射的一般原理和磁約束產(chǎn)生的根本原因。磁控濺射可以被認(rèn)為是涂層技術(shù)的成就之一。它具有濺射速率高、基片溫升低、膜基結(jié)合力好、器件性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
徐州冷水機(jī)組制冷是一種能夠提供恒溫、恒流、恒壓的制冷水設(shè)備。其工作原理是先向機(jī)器水箱內(nèi)注入一定量的水,通過制冷系統(tǒng)對水進(jìn)行降溫,然后將低溫制冷水送至設(shè)備,由水泵進(jìn)行降溫。制冷水帶走熱量后,溫度升高,然后返回水箱以實(shí)現(xiàn)制冷。制冷水溫度可根據(jù)需要自動調(diào)節(jié),長期使用可節(jié)約用水。
徐州冷水機(jī)組可控制真空鍍膜機(jī)的溫度,保證鍍膜件的高質(zhì)量。如果不配備徐州冷水機(jī)組,真空鍍膜機(jī)就無法達(dá)到高精度、效率高的溫度控制目的,因?yàn)樽匀凰退岵豢杀苊獾厥艿阶匀粶囟鹊挠绊?,這種控制方法不穩(wěn)定。
制冷機(jī)具有完全單獨(dú)的制冷系統(tǒng),不會受到氣體溫度和環(huán)境的影響。水溫調(diào)節(jié)控制在5℃~30℃范圍內(nèi),可達(dá)到高精度、效率高的溫度控制目的。冷水機(jī)配備單獨(dú)的水循環(huán)系統(tǒng)。
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